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1.應用于汽車行業
MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統壓力感測,通常用于自動裝置之中,但也用于新型雙離合器傳動系統。德國廠商推出了一款MEMS解決方案,使用油來保護硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化,當時使用的是多孔硅,帶來了高度可靠的MEMS器件,這些器件已用于目前的側面氣囊等應用之中。
2.應用于醫療市場
壓力傳感器主要充當外科手術使用的一次性低成本導管。但它們也用于昂貴的設備之中,在連續氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。
3.應用于工業領域
MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調(HVAC)、水平面測量、各種工業過程與控制應用。例如,除了精確的高度氣壓測量,飛機使用傳感器監測引擎、襟翼等其它部件。

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